MIRAI XS 20

MIRAI XS CRYO ist ein dediziertes Segment der MIRAI X CRYO-Line, das speziell entwickelt wurde, um den hochpräzisen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Dieses fortschrittliche Kühlsystem verfügt über zwei vollständig unabhängige Temperaturregelkreise, jeweils mit einer eigenen Hochpräzisions-Pumpe ausgestattet, was eine gleichzeitige Steuerung separater Temperierzonen mit herausragender Genauigkeit und Zuverlässigkeit ermöglicht.

TEMPERATURGENAUIGKEIT UND NULL GWP
Der erste Regelkreis arbeitet in einem weiten Bereich von –120 °C bis +80 °C, während der zweite Regelkreis für +20 °C bis +90 °C ausgelegt ist (auf Anfrage optional erweiterbar bis +120 °C). Diese Dual-Loop-Konfiguration macht die MIRAI XS CRYO außergewöhnlich flexibel für komplexe Halbleiterprozesse, die innerhalb desselben Systems unterschiedliche thermische Bedingungen erfordern.

Mit Luft als Kältemittel liefert das System ein Globales Erwärmungspotenzial (GWP) von null und unterliegt keiner F-Gas-Regulierung, wodurch es zu 100 % umweltfreundlich ist und vollständig den aktuellen und künftigen globalen Nachhaltigkeitsstandards entspricht.

Die Temperaturstabilität ist eine der größten Stärken der MIRAI XS CRYO:
• ± 0,5 °C bei dynamischer Last
• ± 0,02 °C, sobald der Sollwert erreicht ist

PLUG-&-PLAY-LÖSUNG
Dank seines kompakten, Plug-&-Play-Designs lässt sich die MIRAI XS CRYO leicht in neue Installationen integrieren und ist perfekt geeignet für die Nachrüstung bestehender Systeme. Es unterstützt standardisierte Industrie-Schnittstellen und gewährleistet so Kompatibilität in einem breiten Spektrum an Halbleiter- und High-Tech-Anwendungen.

SCHNELLER AUTOMATISCHER NEUSTART
Im Falle von Stromausfällen oder Spannungsschwankungen auf Kundenseite können sich MIRAI-Systeme binnen 30 Sekunden automatisch neu starten und alle Betriebsparameter wiederherstellen – ganz ohne manuelles Eingreifen. Dies minimiert Ausfallzeiten und sichert eine unterbrechungsfreie Produktion.

SCHUTZ VOR HTF-LECKAGEN
Alle MIRAI X CRYO-Geräte sind mit einem umfassenden Leckdetektionssystem für das Wärmeträgerfluid (HTF) ausgestattet. Vier Sensoren sind strategisch an Schlüsselstellen positioniert: am Pumpenausgang, am Einlass des Wärmetauschers, an der Expansionsventileinheit und am Reservoir. Bereits ein einziger Tropfen HTF löst sofort eine Warnung aus; in kritischen Fällen fährt die Anlage eine Notabschaltung durch, um Schäden oder Kontaminationen zu verhindern.

TEILLASTBETRIEB
MX SEMI kann seine Leistung modulieren, um sich an unterschiedliche thermische Lasten anzupassen. Dies ermöglicht einen effizienten und wirtschaftlichen Betrieb, der Energie spart, ohne die Temperaturstabilität zu beeinträchtigen. Ob bei 25 % der Maximalleistung im Leichtlastbereich oder beim Hochfahren auf Volllast – MX SEMI passt sich automatisch an und liefert exakt die Kühl- oder Heizleistung, die der Prozess erfordert.