MIRAI XS 20

MIRAI XS CRYO ist ein spezielles Segment der MIRAI X CRYO-Linie und wurde gezielt für die hohen Präzisionsanforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt. Dieses fortschrittliche Kühlsystem verfügt über zwei vollständig unabhängige Temperaturregelkreisläufe, die jeweils mit einer eigenen Hochpräzisionspumpe ausgestattet sind. Dadurch ist eine gleichzeitige Steuerung unterschiedlicher Temperaturzonen mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit möglich.

Der erste Kreislauf arbeitet in einem weiten Temperaturbereich von –120 °C bis +80 °C, während der zweite Kreislauf für +20 °C bis +90 °C ausgelegt ist – optional erweiterbar auf bis zu +120 °C. Diese Dual-Loop-Konfiguration verleiht dem MIRAI XS CRYO außergewöhnliche Flexibilität für komplexe Halbleiterprozesse, bei denen verschiedene thermische Bedingungen innerhalb eines Systems erforderlich sind.

Da Luft als Kältemittel verwendet wird, arbeitet das System mit null Treibhauspotenzial (GWP) und unterliegt nicht der F-Gas-Verordnung – eine zu 100 % umweltfreundliche Lösung, die heutigen und zukünftigen globalen Nachhaltigkeitsstandards vollständig entspricht.

Die Temperaturstabilität ist eine der großen Stärken des MIRAI XS CRYO:
± 0,5 °C bei wechselnder Last
± 0,02 °C nach Erreichen des Sollwerts

Dank seines kompakten Plug & Play-Designs lässt sich das System leicht in neue Anlagen integrieren und eignet sich hervorragend für die Nachrüstung bestehender Installationen. Es unterstützt gängige industrielle Schnittstellen und gewährleistet so eine breite Kompatibilität in der Halbleiter- und Hightech-Industrie.