Eigenschaften
XS - IST EINE SEGMENTLINIE DER MIRAI X CRYO LINIE, DIE SPEZIELL FÜR DEN HALBLEITERMARKT ENTWICKELT WURDE
MIRAI XS CRYO verfügt über zwei getrennte Arbeitskreisläufe, die den Kunden konstante und genaue Temperaturen bieten.
Dieses fortschrittliche Kältesystem ist auf die unterschiedlichen Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten.
NACHHALTIGE LÖSUNG FÜR DIE HALBLEITERPRODUKTION
Entspricht allen aktuellen und zukünftigen internationalen Umweltstandards.
TEMPERATURGENAUIGKEIT
± 0,5 °C bei wechselnder Belastung.
± 0,02 °C nach Erreichen des Sollwerts.
NULL GWP
Mit der Technologie des Luftkreislaufs.
Unterliegt nicht der F-Gas-Verordnung.
Mit der Luftkreislauftechnologie ist MIRAI XS CRYO 20 100% umweltfreundlich.
PLUG & PLAY-LÖSUNG
Die MIRAI XS CRYO-Maschine ist die ideale Lösung für die Nachrüstung bestehender Anlagen und lässt sich dank ihrer Plug & Play-Konstruktion, die mit mehreren Industriestandard-Anschlusstypen kompatibel ist, leicht in neue Projekte integrieren.
MIRAI XS CRYO verfügt über zwei getrennte Arbeitskreisläufe, die den Kunden konstante und genaue Temperaturen bieten.
Dieses fortschrittliche Kältesystem ist auf die unterschiedlichen Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten.
NACHHALTIGE LÖSUNG FÜR DIE HALBLEITERPRODUKTION
Entspricht allen aktuellen und zukünftigen internationalen Umweltstandards.
TEMPERATURGENAUIGKEIT
± 0,5 °C bei wechselnder Belastung.
± 0,02 °C nach Erreichen des Sollwerts.
NULL GWP
Mit der Technologie des Luftkreislaufs.
Unterliegt nicht der F-Gas-Verordnung.
Mit der Luftkreislauftechnologie ist MIRAI XS CRYO 20 100% umweltfreundlich.
PLUG & PLAY-LÖSUNG
Die MIRAI XS CRYO-Maschine ist die ideale Lösung für die Nachrüstung bestehender Anlagen und lässt sich dank ihrer Plug & Play-Konstruktion, die mit mehreren Industriestandard-Anschlusstypen kompatibel ist, leicht in neue Projekte integrieren.
Reduzierter Stromverbrauch bis zu
30 %
Umweltfreundlich
- Luft oder Stickstoff als Kältemittel
- kein Nachfüllen erforderlich
- umweltfreundlich
Temperaturgenauigkeit von
0.5°C
Kühl- und Heizleistung des MIRAI XS CRYO 20
MIRAI XS 20 (MXS CRYO 20)
Technische Daten
Kältemittel
Natürliche Luft
Abmessungen (WxDxH)
60x160x178 cm
Motorleistungsaufnahme
20 kW
Heizung
9 kW
Gewicht
860 kg
Geräuschpegel
75 dB
Betriebszyklus
Geschlossener Kreislauf
Systemkühlung
Wasserkühlung
Temperaturbereich
von -120 °C bis +90 °C
Höchstdehzahl
85 000 rpm
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